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「シリコン基板」の写真・グラフィックス・映像

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  • 1999年09月09日
    接合したナノチューブ 超微細加工技術を開発

    シリコン基板に接合したカーボンナノチューブの電子顕微鏡写真。両端の接合部に炭化シリコンの半導体が生成している(NEC提供)

    商品コード: 1999090900141

  • 2019年06月20日
    高精度角速度センサー(右)とMEMSセンサーを実装した基板

    住友精密工業と米コリンズエアロスペースは2024年までに、微小電気機械システム(MEMS)センサーの生産能力を現状比最大5倍に引き上げる。2社が折半出資する英子会社が20年8月までに約10億円を投じ、住友精密本社内(兵庫県尼崎市)の工場を拡張する。航空宇宙向け慣性センサーなどの従来品に加え、工場や機械の自動化に必要な各種センサーの受託生産が大きく伸びる。事業拡大の好機とみて能力増強に踏み切る。2社が99年に50%ずつ出資して設立した英子会社「シリコンセンシングシステムズ」(SSSL、プリマス)は、唯一の生産拠点を住友精密本社に置いている。増強の第1期として20年8月までに工場を別の建屋に移し、現状比約2倍の3000平方メートルに拡張。クリーンルームのほか、エッチングやスパッタの装置を増設し、生産能力を同2倍に増やす。新工場は従来の直径6インチより大きい8インチウエハーを使う生産工程を初導入する。8インチのシリコン基板上にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜をスパッタ法で均一形成する独自技術を最近確立した。新技術も活用することで生産能力は現状比最大5倍まで増やせる。24年まで需要に応じて段階的に増強する。=2019(令和元)年6月20日、撮影場所不明、クレジット:日刊工業新聞/共同通信イメージズ

    商品コード: 2019062804685

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